扩散真空泵

什么是扩散真空泵？扩散真空泵利用沸腾油蒸气射流达到高真空，且无运动部件。用于镀膜、金属化和工业高真空工艺等偏好简单坚固泵的场合。## 概述

扩散泵包含将低蒸气压油汽化的锅炉。蒸气经烟囱上升，并通过喷嘴高速向下喷射。泵体内的气体分子被蒸气夹带并输送到下级，再由前级泵抽除，而油冷凝后返回锅炉。由于没有运动部件，该泵坚固且相对于其抽速而言成本较低，抽速从数百到数万升每秒。配合合适的油和冷阱，极限压力可达 10⁻⁶ 至 10⁻⁹ mbar。必须配备前级泵和冷阱或挡板，以防止油返流并维持前级压力。扩散泵用于镀膜、金属化、真空炉和较早的高真空系统。## 工作原理是什么？真空泵去除气体分子以降低密封空间的压力。容积式泵（包括旋片式、隔膜式、涡旋式和罗茨泵）捕获一定体积的气体并排出。动量传递泵（包括涡轮分子泵和扩散泵）将分子加速到排气口，再由前级泵抽除。水环泵和喷射泵利用液体或射流夹带并带走气体。性能由极限压力或基础压力以及抽速描述，抽速以升每秒或立方米每小时计。实际性能还取决于气体负荷、腔体壁的放气以及连接管路的流导。蒸气处理、耐腐蚀性和洁净度决定哪种泵适合特定工艺，且泵常分级组合以覆盖宽压力范围。## 主要特点有哪些？- 无运动部件，高真空且成本较低 - 抽速数百至数万升每秒 - 配合合适油品极限压力 10⁻⁶–10⁻⁹ mbar - 带喷嘴和烟囱结构的分级压缩 - 需要前级泵和冷阱或挡板 - 油在冷却壁上冷凝后循环使用

技术参数有哪些？典型的扩散真空泵配置：极限压力为 10⁻⁶–10⁻⁹ mbar；抽速为 100–50,000 L/s；锅炉功率为 0.3–5 kW；装油量为 0.1–2 L；前级压力为 Below 0.1 mbar；冷却水为 Required, 1–5 L/min。以上数值代表该产品类别的常见水平，具体配置参数以报价单及随机校准文件为准。## 适用于哪些应用？扩散真空泵主要用于真空镀膜和金属化、真空炉、光学和反射涂层、工业高真空系统、高真空冷冻干燥。在更广泛的真空泵类别中，实验室还将其用于用于干燥和脱气的腔体抽真空、旋转蒸发和蒸馏、冷冻干燥和离心浓缩。## 适用哪些标准与认证？相关标准与方法包括 IEC 61010-1、IEC 61326-1、ISO 21360、ISO 27893、ISO 20485、GB 4793.1。本型号的认证候选包括 CE、ISO 9001 manufacturing、RoHS；每项认证均需针对具体配置在发货前确认，仅提供已实际签发的证书。使用冷阱、前级管路捕集器或过滤器保护泵免受工艺影响，并在关闭高真空泵前将其放气至大气压。油封泵应按计划换油并检查密封，干式泵应检查涡旋尖端和隔膜。管路应尽可能短而宽以保持流导，并使用正确的法兰类型且少量使用真空脂。使用适合相应量程的真空计监测压力，例如皮拉尼、电容或电离真空计。电气安全遵循 IEC 61010-1 及当地压力设备规定。对于无油或洁净工艺，应确认泵不会返流油或颗粒。在调试和每次维护时记录基础压力和抽气曲线，以便及早发现性能下降。## 如何选择合适的扩散真空泵？当需要低成本下的高抽速，且可用捕集器控制偶发油返流时，应选择扩散泵。洁净、无油的高真空则宜用涡轮分子泵。询价时请说明目标压力、抽速、前级泵、冷却水和捕集器要求。### 与其他真空泵型号相比如何？应从所需工作压力、气体组成和待抽空体积入手。过滤和干燥的粗真空用隔膜泵或单级旋片泵即可。旋转蒸发和镀膜的中真空适合两级旋片泵或涡旋泵。电子光学、表面分析和半导体工作所需的高真空及超高真空需要涡轮分子泵并配合适的前级泵。考虑气体是否可凝、腐蚀性或含颗粒，并按需增加捕集器、过滤器和耐腐蚀材料。根据腔体体积、目标压力和可接受的抽气时间确定抽速，并记住流导会限制实际抽速。根据污染风险决定采用油封还是干式设计，并将真空计、阀门和控制器作为系统的一部分进行说明。