涡轮分子真空泵

什么是涡轮分子真空泵？涡轮分子泵使用高速旋转叶片达到低于 10⁻⁶ mbar 的高真空和超高真空。用于电子显微镜、表面分析、镀膜和半导体工艺等需要洁净高真空的场合。## 概述

涡轮分子泵的转子带许多倾斜叶片，与定子叶片交替排列。快速运动的叶片将动量传递给气体分子并将其推向排气口，再由前级泵抽除。转子转速达每分钟 20,000 至 90,000 转，因此轴承为陶瓷球轴承或磁轴承。依据级数和前级压力，极限压力可低于 10⁻⁷ 至 10⁻¹⁰ mbar，抽速从几升每秒到数千升每秒。涡轮泵洁净、无油且隔振，且绝不可在全速下直接放气至大气，也不可在没有合适前级泵的情况下承受高气体负荷。它们是电子显微镜、质谱仪、表面分析和薄膜沉积的关键设备。## 工作原理是什么？真空泵去除气体分子以降低密封空间的压力。容积式泵（包括旋片式、隔膜式、涡旋式和罗茨泵）捕获一定体积的气体并排出。动量传递泵（包括涡轮分子泵和扩散泵）将分子加速到排气口，再由前级泵抽除。水环泵和喷射泵利用液体或射流夹带并带走气体。性能由极限压力或基础压力以及抽速描述，抽速以升每秒或立方米每小时计。实际性能还取决于气体负荷、腔体壁的放气以及连接管路的流导。蒸气处理、耐腐蚀性和洁净度决定哪种泵适合特定工艺，且泵常分级组合以覆盖宽压力范围。## 主要特点有哪些？- 极限压力低于 10⁻⁷ 至 10⁻¹⁰ mbar - 转速 20,000–90,000 rpm - 抽速从几升每秒到数千升每秒 - 可选陶瓷球轴承或磁轴承 - 洁净、无油、低振动运行 - 需要合适的前级泵

技术参数有哪些？典型的涡轮分子真空泵配置：极限压力为 Below 10⁻⁷–10⁻¹⁰ mbar；抽速（N2）为 50–3,000 L/s；转速为 20,000–90,000 rpm；压缩比（N2）为 10⁸–10¹¹；轴承类型为 Ceramic ball or magnetic；前级压力为 Below 0.1 mbar。以上数值代表该产品类别的常见水平，具体配置参数以报价单及随机校准文件为准。## 适用于哪些应用？涡轮分子真空泵主要用于电子显微镜、表面分析和 XPS、质谱分析、薄膜沉积、半导体和镀膜工艺。在更广泛的真空泵类别中，实验室还将其用于用于干燥和脱气的腔体抽真空、旋转蒸发和蒸馏、冷冻干燥和离心浓缩。## 适用哪些标准与认证？相关标准与方法包括 IEC 61010-1、IEC 61326-1、ISO 21360、ISO 27893、ISO 20485、GB 4793.1。本型号的认证候选包括 CE、RoHS、ISO 9001 manufacturing；每项认证均需针对具体配置在发货前确认，仅提供已实际签发的证书。使用冷阱、前级管路捕集器或过滤器保护泵免受工艺影响，并在关闭高真空泵前将其放气至大气压。油封泵应按计划换油并检查密封，干式泵应检查涡旋尖端和隔膜。管路应尽可能短而宽以保持流导，并使用正确的法兰类型且少量使用真空脂。使用适合相应量程的真空计监测压力，例如皮拉尼、电容或电离真空计。电气安全遵循 IEC 61010-1 及当地压力设备规定。对于无油或洁净工艺，应确认泵不会返流油或颗粒。在调试和每次维护时记录基础压力和抽气曲线，以便及早发现性能下降。## 如何选择合适的涡轮分子真空泵？当需要洁净的高真空和超高真空时，应选择涡轮泵。务必说明匹配的前级泵和压力计。询价时请说明目标压力、气体负荷、进气法兰、冷却方式以及是否需要磁轴承。### 与其他真空泵型号相比如何？应从所需工作压力、气体组成和待抽空体积入手。过滤和干燥的粗真空用隔膜泵或单级旋片泵即可。旋转蒸发和镀膜的中真空适合两级旋片泵或涡旋泵。电子光学、表面分析和半导体工作所需的高真空及超高真空需要涡轮分子泵并配合适的前级泵。考虑气体是否可凝、腐蚀性或含颗粒，并按需增加捕集器、过滤器和耐腐蚀材料。根据腔体体积、目标压力和可接受的抽气时间确定抽速，并记住流导会限制实际抽速。根据污染风险决定采用油封还是干式设计，并将真空计、阀门和控制器作为系统的一部分进行说明。