罗茨真空增压泵

什么是罗茨真空增压泵？罗茨真空增压泵使用两个旋转叶轮在前级泵基础上提高中真空范围内的抽速。用于抽空大型腔体并加快干燥和镀膜循环。## 概述

罗茨泵在壳体内有两个反向旋转的 8 字形叶轮。叶轮捕获气体并将其从进口输送到出口，彼此之间以及与壳体之间均不接触，因此泵干式运行且内部无需润滑。罗茨泵压缩比有限，无法自行向大气排气，因此必须由旋片泵、螺杆泵或水环泵作为前级。在此组合下，它可在 10 至 0.01 mbar 范围内将抽速提高数倍，从而缩短大型腔体的抽气时间。典型设备可输送每小时数百至数千立方米。冷却夹套控制压缩产生的热量，且由于间隙极小，气体应洁净或经过预过滤。用于镀膜、干燥、脱气、蒸馏和中央真空系统。## 工作原理是什么？真空泵去除气体分子以降低密封空间的压力。容积式泵（包括旋片式、隔膜式、涡旋式和罗茨泵）捕获一定体积的气体并排出。动量传递泵（包括涡轮分子泵和扩散泵）将分子加速到排气口，再由前级泵抽除。水环泵和喷射泵利用液体或射流夹带并带走气体。性能由极限压力或基础压力以及抽速描述，抽速以升每秒或立方米每小时计。实际性能还取决于气体负荷、腔体壁的放气以及连接管路的流导。蒸气处理、耐腐蚀性和洁净度决定哪种泵适合特定工艺，且泵常分级组合以覆盖宽压力范围。## 主要特点有哪些？- 两个反向旋转叶轮，内部无接触 - 将前级泵抽速提高数倍 - 在 10–0.01 mbar 范围内有效 - 流量每小时数百至数千立方米 - 冷却夹套，带走压缩热 - 干式运行，内部无需润滑

技术参数有哪些？典型的罗茨真空增压泵配置：抽速为 250–5,000 m3/h；有效压力范围为 10–0.01 mbar；最大压差为 50–100 mbar；叶轮数为 2；冷却为 Water or air jacket；润滑为 Gearbox only, dry chamber。以上数值代表该产品类别的常见水平，具体配置参数以报价单及随机校准文件为准。## 适用于哪些应用？罗茨真空增压泵主要用于大型腔体抽真空、真空镀膜和金属化、干燥和脱气、蒸馏系统、中央真空增压。在更广泛的真空泵类别中，实验室还将其用于用于干燥和脱气的腔体抽真空、旋转蒸发和蒸馏、冷冻干燥和离心浓缩。## 适用哪些标准与认证？相关标准与方法包括 IEC 61010-1、IEC 61326-1、ISO 21360、ISO 27893、ISO 20485、GB 4793.1。本型号的认证候选包括 CE、ISO 9001 manufacturing、RoHS；每项认证均需针对具体配置在发货前确认，仅提供已实际签发的证书。使用冷阱、前级管路捕集器或过滤器保护泵免受工艺影响，并在关闭高真空泵前将其放气至大气压。油封泵应按计划换油并检查密封，干式泵应检查涡旋尖端和隔膜。管路应尽可能短而宽以保持流导，并使用正确的法兰类型且少量使用真空脂。使用适合相应量程的真空计监测压力，例如皮拉尼、电容或电离真空计。电气安全遵循 IEC 61010-1 及当地压力设备规定。对于无油或洁净工艺，应确认泵不会返流油或颗粒。在调试和每次维护时记录基础压力和抽气曲线，以便及早发现性能下降。## 如何选择合适的罗茨真空增压泵？当腔体较大且必须缩短抽气时间，或关注镀膜产能时，应增加罗茨增压泵。它始终需要前级泵。询价时请说明腔体体积、目标压力、抽气时间、前级泵和气体洁净度。### 与其他真空泵型号相比如何？应从所需工作压力、气体组成和待抽空体积入手。过滤和干燥的粗真空用隔膜泵或单级旋片泵即可。旋转蒸发和镀膜的中真空适合两级旋片泵或涡旋泵。电子光学、表面分析和半导体工作所需的高真空及超高真空需要涡轮分子泵并配合适的前级泵。考虑气体是否可凝、腐蚀性或含颗粒，并按需增加捕集器、过滤器和耐腐蚀材料。根据腔体体积、目标压力和可接受的抽气时间确定抽速，并记住流导会限制实际抽速。根据污染风险决定采用油封还是干式设计，并将真空计、阀门和控制器作为系统的一部分进行说明。